最后是美國科技界為了研制超純資料(半導體原件資料、納米邃密陶瓷資料等)操縱蒸餾、去離子化、反滲入手藝或別的恰當的超臨界邃密手藝出產出來的水，現在超純水已在生物、醫藥、汽車等范疇普遍操縱。這類水中除水份子(H20)外，幾近不甚么雜質，更不細菌、病毒、含氯二惡英等無機物，固然也不人體所需的礦物資微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可間接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難到達的水平，如水的大于18MΩ*cm，靠近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
接納預處置、反滲入手藝、超純化處置和后級處置等方式，將水中的導電介質幾近完整去除，又將水中不離解的膠體物資、氣體及無機物均去除至很低水平的水處置裝備。
超純水體系裝備的脫鹽焦點部件為入口反滲入膜組件，超純水體系裝備凡是由預處置局部，反滲入主機局部，后處置局部配合構成。
1、預處置由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全主動軟水器、緊密過濾器構成(我司接納全主動節制閥頭)，也可選用超濾體系作為預處置，但凡是工程造價要高。預處置首要目標是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物資、懸浮物、色度、異味、生化無機物。當原水中硬度較高時，可挑選全主動軟水器，如許有用的掩護了反滲入膜，從而耽誤了反滲入膜的操縱壽命。
2、反滲入主機首要由高壓泵、膜殼、入口反滲入膜組件，在線儀表、節制電氣等構成。只需膜的數目及泵的型號選型適當，反滲入主機脫鹽率及產水量都能到達額外目標，出水電導率可保障在≤10us. CM以下，(原水電導率小于500us/cm,任務溫度：1～40℃)
3、后處置局部是對反滲入制取的純水作進一步的深入處置以制取超純水，凡是是離子互換混床裝備或EDI裝備，按照客戶請求，出水阻率可到達18.2MΩ.CM，若是是操縱在直飲水工藝上，則加上殺菌裝配便可，凡是為紫外線殺菌器或臭氧產生器，從而使出產出來的水到達直飲規范。
互換反映在模組的純化學室停止，在那邊陰離子互換樹脂用它們的氫氧按照離子(OH)來互換消融鹽中的陰離了(如氯離子Cl)。響應地，陽離子互換樹脂用它們的氫離子(H)來互換消融鹽中的陽離子(如Na)。
在位于模組兩頭的陽極(+)和陰極(-)之間加一向流電場。電勢就使互換到樹脂上的離子沿著樹脂粒的外表遷徙并經由進程膜進入濃水室。陽極吸收負電離子(如OH，CI)這些離子經由進程陰離子膜進入相臨的濃水流卻被陽離子挑選膜隔絕，從而留在濃水流中。陰極吸收純水流中的陽離子(如H，Na)。這些離子穿過陽離子挑選膜，進入相臨的濃水流卻被陰離子膜陰隔，從而留在濃水流中。當水流過這兩種平行的室時，離子在純水室被撤除并在相臨的濃水流中堆積，而后由濃水流將其從模組中帶走。在純水及濃水中離子互換樹脂的操縱是ElectropupreEDI手藝和專利的關頭。一個首要的景象在純水室的離子互換樹脂中產生。在電勢差高的局部地區，電化學反映分化的水產生大批的H和OH。在混床離子互換樹脂中局部H和OH的產生使樹脂和膜不須要增加化學藥品便能夠延續再生。
膜堆是由夾在兩個電極之間必然對數的單位構成。在每一個單位內有兩類差別的室：待除鹽的海水室和搜集所撤除雜質離子的濃水室。海水室頂用混勻的陽、陰離子互換樹脂填滿，這些樹脂位于兩個膜之間：只許可陽離子透過的陽離子互換膜及只許可陰離子透過的陰離子互換膜。 樹脂床操縱加在室兩頭的直流電停止持續地再生，電壓使進水中的水份子分化成 H+及 OH-，水中的這些離子受響應電極的吸收，穿過陽、陰離子互換樹脂向所對應膜的標的目的遷徙，當這些離子透過互換膜進入濃室后， H +和 OH-連系成水。這類 H+和 OH-的產生及遷徙恰是樹脂得以完成持續再生的機理。
當進水中的 Na+及 CI-等雜質離子吸咐到響應的離子互換樹脂上時，這些雜質離子就會產生象通俗混床內一樣的離子互換反映，并響應地置換出 H+及 OH-。一旦在離子互換樹脂內的雜質離子也插手到 H+及 OH-向互換膜標的目的的遷徙，這些離子將持續地穿過樹脂直至透過互換膜而進入濃水室。這些雜質離子因為相鄰隔室互換膜的反對感化而不能向對應電極的標的目的進一步地遷徙，是以雜質離子得以集合到濃水室中，而后可將這類含有雜質離子的濃水排擠膜堆。
1. 水進入純化體系，首要局部流入樹脂 / 膜外部，而另外一局部沿模板外側活動，以洗去顯露出膜外的離子。
2. 樹脂扣留水中的溶存離子。
3. 被扣留的離子在電極感化下，陰離子向正極標的目的活動，陽離子向負極標的目的活動。
4. 陽離子透過陽離子膜，排擠樹脂 / 膜以外。
5. 陰離子透過陰離子膜，排擠樹脂 / 膜以外。
6. 稀釋了的離子從廢水流路中排擠。
7. 去陰陽離子水從聚酯樹脂 / 膜內吐出。
1、電子、半導體行業：制取電子產業出產如單晶硅半導體集成電路塊，顯象管，玻殼，液晶顯現器等制作產業用純水、超純水機。
2、醫藥行業用水：制藥、制劑工藝用水，醫療血液透析、生化闡發、輸液等。
3、汽鍋水處置：煤油、化工、煉油、火力發電、電力、制取熱力、冶金、食物、造紙等行業中汽鍋，廠礦企業高、中、高壓汽鍋給水所需硬化水、除鹽純水。
4、飲料行業：飲用純清水、蒸餾水、自然水、礦泉水、礦化水、酒類出產白酒勾兌用純水、啤酒糖化投料用水及純生啤酒過濾等。
5、賓館、樓宇、社區優良供水收集體系及泅水池水質凈化。
6、制取電鍍工藝用去離子水、電池(蓄電池)出產工藝的純水，汽車、家用電器、建材產物外表涂裝、洗濯純水，鍍膜玻璃用純水，紡織印染工藝所需的除硬鹽水。
7、煤油化工行業：如化工反映冷卻、化學藥劑、化肥及邃密化工、化裝品制作進程用工藝純水